高純度銅母線濺鍍靶材（4N-6N）

高純度銅母線濺鍍靶材－製程及品質保證聲明

我們的銅母線靶材是專門為大面積、大批量物理氣相沉積而開發的，在這種工藝中，在大長度範圍內實現均勻塗層至關重要。

關鍵工藝特徵

製造過程中採用先進的冶金和機械加工技術，以確保性能穩定可靠：
●起始原料：採用經驗證具有超高純度的優質電解銅陰極作為基礎。
●真空精煉：多級真空熔煉去除氣態和金屬雜質，達到 4N-6N 水準。
●連鑄：可控熱擠壓或連鑄可生產出組織均勻的長而緻密的坯料。
●熱加工：鍛造和軋製細化晶粒尺寸，達到接近理論密度。
●精密切割和加工：數控鋸切和銑削可製造出具有平行面的精確矩形尺寸。
●表面處理：多階段研磨和拋光可產生乾淨、無缺陷的濺鍍表面。
●黏合方式：可採用低溫銦或彈性體黏合在不銹鋼或鉬背板上。
●無塵室包裝：最終超音波清洗和雙層真空包裝確保無污染交付。

品質控制系統

● 從陰極源到成品母線目標的完全可追溯性
● 每台設備均提供完整的材料認證和測試報告
●存檔樣品保留≥3年，用於獨立驗證（SGS、BV等）。
●關鍵參數 100% 檢測：
• 純度驗證（GDMS/ICP 分析；氧含量通常 <5 ppm）
• 密度測試（≥99.5% 理論值）
• 晶粒結構評估（金相學）
• 尺寸精度（三坐標測量機；平行度通常≤0.1mm）
• 表面品質和粗糙度（輪廓儀 + 無塵室檢測）
● 內部規格優於 ASTM F68 標準。典型特性：導熱係數 >395 W/m·K，穩定的無電弧濺鍍性能，磁控濺鍍系統沉積速率高。